복합제품시스템 산업은 높은 기술적 복잡성, 과점 형태의 시장 구조, 높은 수준의 관리 역량 요구 등으로 인해 후발진입자의 성장이 상당히 도전적인 산업이다. 그러나 반도체 노광장비 산업의 ASML은 산업 형성 이후 약 20년이나 지난 시점에 진입하였음에도 불 구하고, 시장 점유율 1위를 기록한데 이어, 현재시장 독과점을 달성하였다. 이러한 사례 에 대한 심층 이해는 2019년 일본의 반도체 소재 수출 규제 이후 소재ᆞ부품ᆞ장비 산업 정책을 통해 장비산업을 육성코자 하는 정부와 세계 시장 지배를 꿈꾸는 장비기업에 중요 한 시사점을 제공할 수 있다. 이에 따라 본 연구에서는 ASML의 창업(1984년) 이후 시장 점유율1위를 달성하기까지의 과정을 ‘창업(1984년)’, ‘창업 초기(~1980년대 중후반), ‘창업 후기(1990년대 초중반)’, ‘고도성장기(1990년대 후반~2000년대 초반)’로 나누어 기술혁신과 시장성과를 중심으로 종단적으로 고찰하였다. 이와 같은 기업 수준의 복합제 품시스템 혁신에 대한 종단적 기술을 통해 본 연구는복합제품시스템 후발진입자에 대한 경영사적 논의의 심화에 기여하였다. 또한 장비산업 정책 시사점으로 “플랫폼 기반 및 보 완기술 병행 제품 개발 전략”, “수요-장비 기업 간 긴밀한 연계와 협력” 등의 전략과 함 께 정부의 광역적이고 적극적인 정책 개입이 필요함을 확인하였다.